Jangkauan Perjalanan
20mm
Resolusi
0,125μm
Pengulangan
＜1μm
Kelurusan
＜2μm
Paralelisme
＜5μm
Anggukan
10″（50μrad）
Menguap
Kecepatan maksimum
5mm/detik
Kapasitas beban
10kg
Berat
1,5kg
